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YHJ 高精度气浮转台


该产品具有承载大、径向和轴向刚度高、角刚度好、高度低的特点;同时由于其隔尘设计,更加适应生产加工环境。是各种高精度测量、光学测量组装加工、芯片半导体测量加工、全物理仿真模拟设备等行业的极佳选择。

主要特点

1、高精度: 气体润滑,超高回转精度。

2、高响应: 低摩擦系数,极高响应速度。

3、无污染:无矿物油污染。

4、长寿命:无接触无磨损,超长使用寿命。

5、个性化定制:高精度气浮转台专利技术,支持个性化定制。

技术参数

项目

型号

标准版

升级版

工作台尺寸

Φ325mm

最大负载

2000N

额定转速

100rpm

额定扭矩

19Nm

径向刚度

260N/μm

轴向刚度

1200N/μm

允许最大偏载(2000N满载时)

60Nm

允许最大偏载(空载时)

45Nm

供气压力

0.5±0.05 Mpa

轴向跳动误差

1 μm

0.2 μm

径向跳动误差

1.5 μm

0.5 μm

定位精度

10 rad s

3 rad s

重复定位精度

4 rad s

1.5 rad s