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YHJART325 高精度气浮转台


用于作为精密机床的转台部件其高精度和清洁的特性,尤为适合应用于在半导体行业的超精加工机床中。

主要特点

● 高精度

由于气浮转台的误差均化效应,能够达到传统机械转台无法达到的精度

● 低摩擦

由于轴承与转台轴之间不直接接触,摩擦小,对电机的响应更及时

● 清洁

气浮转台使用气体润滑,无需考虑润滑液泄露等问题,使用过程中干净清洁

● 高刚度

在该款轴承中,设计的轴向刚度达1200N/μm,径向刚度达260N/μm

技术参数

项目 参数
标准版 升级版
工作台尺寸

Φ325mm

最大负载 2000N
额定转速 100RPM
额定扭矩

19Nm

径向刚度 260N/Чm
轴向刚度 1200N/Чm
允许最大偏载(2000N满载时) 60Nm
允许最大偏载(空载时) 45Nm
供气压力 0.5±0.05Mpa
轴向跳动误差 1Чm 0.2Чm
径向跳动误差 1.5Чm 0.5Чm
定位精准 10rad s 3rad s

重复定位精度

4rad s 1.5rad s