典型加工零件
硅片
蓝宝石
设备亮点
● 本机采用偏心行星式运动方式。
● 工件盘、抛光盘采用减速机直联驱动，变频器调速。
● 采用气缸+电气比例阀精确控制压力大小，采用触摸屏+PLC控制方式。
技术参数
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项目 |
单位 |
参数 |
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精密下盘尺寸 |
mm |
φ1422 x 145 |
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压盘尺寸及材质 |
mm |
φ550/SUS304平面度≤5um |
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设备重量 |
T |
9 |
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设备尺寸（L*W*H） |
mm |
2255 x 1875 x 3300 |
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盘面温度检测系统 |
- |
具备 |
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抛光液供给系统 |
- |
具备 |
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PP头冷却系统 |
- |
可选配 |
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下盘冷却系统 |
- |
具备 |
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上压盘电机强制驱动旋转(上驱动) 4套 |
- |
具备 |
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车刀伺服系统 |
- |
可选配 |
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全工艺控制系统 |
- |
具备/可编写10个步骤工艺（50recipe） |
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历史数据存储及读取系统 （温度、转速、时间、压力） |
- |
具备 |
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水枪及气枪 |
- |
具备 |
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上压盘压力及精度 |
- |
单个压盘最大压力500kg/ea 最小压力40kg/ea 压力波动及误差3%以内 |
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适用电源 |
- |
供电电压：380V±10%/220V±10%，供电频率：50Hz±2% |
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设备功率 |
kW |
≦30 |
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气源压力需求 |
Mpa |
末端压力：0.5～0.7 |
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冷却水需求 |
- |
压力：2-4kg/cm2，流量：10-16L/min。温度：8-18℃ |
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环境需求 |
- |
环境温度：0℃-45℃ |
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